美 “중국이 못갖게 하라”... 반도체 패권 열쇠 쥔 이 회사

美 “중국이 못갖게 하라”... 반도체 패권 열쇠 쥔 이 회사

ASML 어떤 회사길래… 미국이 네덜란드 압박해 ‘對中 수출’ 막나

조선일보 남지현 기자

입력 2021.07.09 03:09

 

네덜란드 반도체 장비 생산 업체 ASML 직원들이 자사가 독점 생산하는 극자외선(EUV) 노광 장비를 살펴보고 있다. 이 장비는 5나노미터 이하의 미세한 전기 회로를 반도체 웨이퍼에 새길 수 있는 유일한 장비다. 대당 가격이 1억2000만달러(약 1374억원)다. /ASML

 

문재인 대통령은 지난 7일 마르크 뤼터 네덜란드 총리와 정상회담을 갖고 반도체와 수소·미래차, 신재생 에너지 분야 등에서 양국 간 협력을 강화하기로 했다고 청와대가 밝혔다. 이날 오후 4시 30분부터 1시간 동안 화상으로 진행된 회담에서 두 정상이 가장 비중을 둔 핵심 의제는 반도체였다. 두 정상은 공동 발표문에서 “양국이 반도체 핵심 파트너임을 평가하면서 반도체 공급망 협력을 더욱 공고히 해나가기로 합의했다”고 밝혔다. 특히 문 대통령은 “네덜란드 ASML사의 한국 EUV(극자외선) 클러스터 투자가 한국 반도체 기업의 안정적인 공급망 구축에 기여할 것으로 기대한다”고 했다. 첨단 반도체 생산 장비 업체 ASML은 최근 총 2400억원을 들여 경기도 화성에 첨단 EUV 클러스터를 조성하고 트레이닝 센터를 짓겠다고 발표했다. 하지만 ASML이 갖는 중요성에 비춰볼 때 거액의 해외 투자 유치는 그야말로 ‘빙산의 일각'에 불과하다. ASML은 미국과 중국, 한국, 대만 등 전 세계 각국이 사활을 걸고 펼치는 반도체 패권의 승패를 좌우할 결정적 열쇠를 가진 것으로 평가된다.

 

◇반도체 패권의 열쇠를 쥔 회사

 

ASML은 반도체 생산 때 필수적인 ‘극자외선(EUV) 노광 장비'를 생산한다. 이 장비는 반도체 원판(웨이퍼)에 전자회로를 새길 때 사용한다. ASML의 EUV 장비는 극자외선을 이용해 5나노미터(nm·1nm는 10억분의 1m) 이하의 회로를 새길 수 있는데 이렇게 미세한 공정을 소화할 수 있는 건 ASML 장비가 유일하다. 세계 반도체 파운드리(위탁 생산) 1·2위 업체인 대만 TSMC와 삼성전자가 7나노 이하 반도체를 양산할 수 있는 것도 ASML 장비가 있기 때문이다.

ASML 장비는 제작에만 다섯 달가량이 걸린다. 대당 가격이 1억2000만달러(약 1374억원)에 달하며, 1년에 생산되는 물량도 40대 정도에 불과하다. 반도체 업계에서 ‘수퍼 을’로 불리는 이 회사가 반도체 패권의 향방을 가를 업체로 평가되는 이유다. 삼성전자와 TSMC의 승부도 결국 EUV 장비를 누가 먼저, 많이 확보하느냐에 달렸다고 해도 과언이 아니다. 지난해 10월 코로나 사태 속에서도 이재용 삼성전자 부회장이 펠트호번에 있는 ASML 본사를 찾은 것은 이 같은 이유에서다. 올해도 TSMC가 30대, 삼성전자가 10대를 확보할 예정인 것으로 알려졌다.

 

◇네덜란드, 미·중 기술 전쟁의 한가운데로

 

최근 네덜란드는 미국과 중국 간 기술 패권 전쟁의 최전선으로 떠올랐다고 뉴욕타임스가 지난 4일 보도했다. 미국이 중국의 ‘반도체 굴기'를 저지하려 ASML의 장비 수출을 막는 데 심혈을 기울이고 있기 때문이다. 미국은 특히 ASML의 대중 수출품 중에서 특히 EUV 장비 차단에 총력을 쏟고 있다.

 

뉴욕타임스는 지난 4일 “ASML이 중국의 ‘기술 굴기’를 우려 섞인 눈으로 바라보는 미국 정책 입안자들에게 핵심 지렛대로 급부상했다”고 말했다.

 

미 인공지능 국가안보위원회(NSCAI)가 지난 3월 하원과 조 바이든 대통령에게 보낸 최종 보고서는 “반도체 생산 주도권을 중국에 뺏기면 중국이 미국과 동맹국의 군사·산업 기밀을 빼갈 수 있다”고 지적했다.

 

미국은 중국이 ASML 장비를 얻지 못하도록 네덜란드를 강하게 압박하고 있다. 트럼프 행정부는 지난 2018년 네덜란드 정부가 ASML이 중국에 EUV 장비를 수출할 수 있도록 허가를 내주자 이를 저지하고자 본격 행동에 나서기 시작했다. 로이터통신은 지난해 1월 “2019년 마르크 뤼터 네덜란드 총리가 백악관을 방문했을 당시 중국이 EUV 장비 제조 기술을 습득할 경우 빚어질 파장에 관한 기밀 문서까지 보여주며 설득했다”고 보도했다. 결국 네덜란드는 2019년 6월 만료된 ASML의 EUV 장비 대중 수출 허가를 지금껏 갱신해주지 않고 있다. 중국 최대 반도체 업체 SMIC가 주문한 EUV 장비는 지금도 네덜란드 항구에 묶여 있다. 여기에 더해 트럼프 행정부는 작년 12월엔 SMIC 등을 아예 상무부 블랙리스트(Entity List)에 추가했다.

 

중국은 거세게 반발했다. 쉬훙 네덜란드 주재 중국 대사는 지난해 1월 현지 언론 인터뷰에서 “네덜란드가 중국과의 무역 관계를 계속 정치화한다면 양국 관계에 부정적인 영향이 있을 수밖에 없을 것”이라고 항의했다.

 

반도체 업계에선 당분간 중국의 반도체 굴기 야심이 한계를 보일 것이란 전망이 나오고 있다. 중국은 상하이마이크로일렉트로닉스장비(SMEE)와 베이팡화촹(北方華創) 등 자국 기업에 기술·세제 지원을 통해 ASML의 EUV 노광 장비를 대체할 수 있는 장비 개발을 독려하고 있다.